壓電六軸并聯(lián)位移臺(tái)，六自由度，兼容高真空

壓電·六軸并聯(lián) Free6D.3-2.150.G2

? 多軸姿態(tài)同時(shí)調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高

• 由納米級(jí)驅(qū)動(dòng)單元實(shí)現(xiàn)的六自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu)，有效降低累積誤差；

• 多軸姿態(tài)同時(shí)調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高；

• 平動(dòng)行程：X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm；

• 角擺行程：ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °；

• 最小步伐：0.1 μm/5 μrad；

• 可提供真空環(huán)境規(guī)格；

• 控制器：根據(jù)用戶輸?的位移指令，實(shí)現(xiàn)對(duì)位移臺(tái)六軸空間姿態(tài)的運(yùn)動(dòng)調(diào)節(jié)

• 控制方式：各驅(qū)動(dòng)單元模塊通過(guò)光柵位置反饋實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制；通過(guò)專(zhuān)用軟件，實(shí)現(xiàn)對(duì)六軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)的解算，分配到各驅(qū)動(dòng)單元模塊，實(shí)現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時(shí)調(diào)節(jié)；

• 控制軟件：提供PC端使用軟件，支持labview，串口命令集控制

壓電六軸并聯(lián)位移臺(tái)，六自由度，兼容高真空——詳細(xì)參數(shù)：

壓電六軸并聯(lián)位移臺(tái)，六自由度，兼容高真空——尺寸圖：